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Untersuchungen zur Erzeugung dünner Schichten mit dem ICBD (Ionized-Cluster-Beam-Deposition)-Verfahren im Hinblick auf Anwendungen in der MikroelektronikMartin Oppermann

Untersuchungen zur Erzeugung dünner Schichten mit dem ICBD (Ionized-Cluster-Beam-Deposition)-Verfahren im Hinblick auf Anwendungen in der Mikroelektronik

Martin Oppermann

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